日本三丰物镜LCD Plan Apo NIR HR 50×

 LCD Plan Apo NIR HR
LCD Plan Apo NIR HR 50×(t0.7) 378-869-5 0.65 9.6 4 0.4 0.7 0.48 0.10×0.13 450
LCD Plan Apo NIR HR 100×(t0.7) 378-870-5 0.70 9.6 2 0.4 0.7 0.24 0.05×0.06 450

Mitutoyo三丰显微镜单元
日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)
用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产
品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统
外观检查系统的嵌入式光学单元
微生物等运动物体的观察 等
可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。
可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄
★微量流体分析用光学系统
★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实
现可见光下做不到的非破坏性检查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价
★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
★红外分光特性分析

日本三丰物镜LCD Plan Apo NIR HR 50×
通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的
组合，能够对同一位置以不同倍率同时观
察。
(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)

通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高
品质加工。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
★保护膜、有机薄膜等的剥离
★金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
★FPD的各种缺陷修正
★光掩模修正
★标记、修剪、图像形成、局部退火、划线

凭借长动作距离设计的物镜，实现优异的操作性。
与定位器、探针台等组合。
通过与激光加工装置组合，还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。
此外，还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统

 Z 轴电动型
■电动型测量显微镜MF-U系列
BF
(明视场)
型号MF-UJ2017D MF-UJ3017D MF-UJ4020D
货号 176-894*1 176-895*1 176-896*1
BD 日本三丰物镜LCD Plan Apo NIR HR 50×
(明视场/暗视场)
型号MF-UK2017D MF-UK3017D MF-UK4020D
货号 176-897*1 176-898*1 176-899*1
目镜 (可选) 带屈光度调节10X (标准选件) (视场数：24)，15X，20X
物镜(可选)
明视场 (BF) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo系列
明视场/暗视场 (BD) BD Plan Apo, BD Plan Apo SL系列
影像AF *2 ✔
工作台
测量范围200×170mm 300×170mm 400×200mm
快速释放设置X Y轴
归零钮X Y轴
Z 轴
大工件高度220mm
进给方式电动 (大测量速度: 20mm/s)
测量精度 *3 (X和Y轴无负载) (2.2 + 0.02L)μm L: 测量长度 (mm)
数显计数器
分辨力1/0.5/0.1μm可切换
显示轴X, Y和Z
功能调零，方向转换
*1 ： 为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀: A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, DC 适于 CCC, E 适于 BS, K 适于 KC, C 和无后缀适于
PSE。
*2 ： 另外需要Vision Unit 和图像AF 电缆。
*3 ： 测量方法符合JIS B7153。
注：其它规格，参见J-7 页。
• 改进了MF-U 系列电动型的可用性。新推出
的MF-UJ / UK 采用Z 轴电动方式，可以更轻
松地调整焦点并对重型工件进行测量。
• Vision Unit (选件) 能使影像自动对焦

实现了高精度的测量显微镜。(小显示分
辨力0.01um)。
• 主机的前台操作设计是基于UD(通用化设计)
的理念。
• 配备三轴电动前置控制手柄，这使传统的显
微镜操作有了全新的变化，即使在快速运动
的过程中也能进行精细定位。
• 用户可选择传统的显微镜光学
管路或带内置激光自动对
焦功能的光学管路，其观
察方法多种多样，提高了测
量工作的效率