MLH-326 519-326杠杆式测头Mitutoyo

 杠杆式测头
货号519-521 519-522 519-326 519-327
型号MLH-521 MLH-522 MLH-326 MLH-327
测量范围(mm) ±0.5
测头行程(mm) ±0.6 ±0.65
测力(N) 约0.2 约0.02 约0.15
直线度(%) ±0.3 ±0.5
轴承部结构轴尖支撑轴尖支撑平行板弹簧式轴尖支撑
* 购买杠杆电子测头时，事先装配有ø2 测针

 这 是一种可直接连接控制装置的细长、
封闭、两相方波光栅尺。
• 光栅尺报警显示功能易于维护。
• 适于您应用的多种规格。
• 适 用于控制半导体制造系统和NC机床

 分辨力0.005 μm
(20 μm/4096)*1 0.01 μm 0.001
μm
0.005 μm
(20 μm/4096)*1 0.01 μm 0.001
μm
0.005 μm
(20 μm/4096)*1 0.01 μm 0.001
μm
大响应速度150 m/min (2.5 m/s) 72 m/min (1.2 m/s)
有效测量范围100 - 2200mm 100 - 1000mm 100 - 350mm
精度 (20ºC)*2 (3+3L0/1000)μm (2+2L0/1000)μm
受温度波动影响的
光栅尺上的膨胀参
考点
有效测量长度的中部
有效测量长度的边缘
HL: "+" 侧的值
HR: "–" 侧的值
*1: 20μm信号除以4096后，准确值为0.0048828125μm。
*2: 指示精度不包括量化误差。L0: 有效范围 (mm)

 MLH-326 519-326杠杆式测头Mitutoyo