日本canon-anelva真空计M-361CP

日本canon-anelva真空计M-361CP

 真空计 M-361CP（真空计）皮拉尼真空计 M-361CP

 将测量大气压至中真空的吡拉尼真空计和测量高真空至超高真空的冷阴极真空计相结合的组合真空计。一台设备即可测量较宽的压力范围。 一台装置中的两种作用有助于降低系统成本和降低管理负荷

 特征 出色的测量稳定性 ・ 减少皮拉尼和冷阴极之间切换不良、不放电导致的测量停止以及压力显示值的波动。 实现出色的大气压检测 -安装在本仪器上的吡喃压力表在接近大气压的情况下具有很高的稳定性和再现性，其响应性与隔膜压力表相当。 维护简单 ・ 冷阴极的维护仅用于部件更换 * 在氢气和氧气等活性气体分压较高的环境中，或在大量使用这些气体的环境中，CC规放电的开始可能会显着延迟。如果您想在这样的环境中使用它，请与我们联系

 用 支持从超高真空到大气压的各种真空测量 （例子） 电子/光学：薄膜沉积、涂层、电子束掩模绘制、溅射、离子注入、MBE 分析：电子显微镜、SIMS、AES、XPS等，各种表面/气体/质谱 各行业：退火、熔化、焊接、回流、硬化、电子束焊接、冶金、分子蒸馏、充气 高能物理：加速器、回旋加速器

＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。